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真空系统检漏

真空系统检漏


       按照ISO3529/1定义,真空是指气体压力或浓度低于周围大气压力的被稀释的气体或相关状态气体状态。SI国际单位制中把压力单位采用 帕(Pa)。在真空技术中压力通常是指绝对压力。
       1Pa =1N/m2
       1Pa的压力,等于1牛顿力施加在1平方米的平整表面上。
       标准大气压:把温度为0,海平面的大气压力称之为标准大气压力,数值为101325Pa。
       显然,Pa 的数值比较偏小,所以在实际工程应用中,有出现很多实用的单位。见如下换算。
       在某些应用领域,如医用真空吸引,真空吸盘等领域,当绝对压力高于100Pa时,目前还有使用负压和真空度(相对真空)的概念。
       负压的概念就是把海平面的标准大气压力作为“零”,而绝对真空就是负1个大气压力。
       相对真空,采用真空度来表示:(Pn-P)/ P *100%。
       当压力为Pn,标准大气压力时,真空度为0 %,当绝对真空时,P=0时,真空度为100%。
       在实际真空应用和真空技术研究领域内,目前可获得并应用的压力范围是:105-10-10 Pa。
       跨越15个数量级。为了便于技术交流和根据不同压力范围内的特性,通常划分为四个真空区域。
 
真空区域 粗真空 低真空 中真空 高真空 超高真空
压力范围 105-103 103-101 101-10-2 10-2-10-6 10-6-10-10
主要特性 压力差 氧气和水含量
显著减少
物质沸点降低
氧含量进一步减少
气体分子平均自由程增大 形成单分子层时间增大
主要应用 真空输送
真空夹具
真空包装
真空干燥
 
真空冷冻干燥
真空蒸馏
真空热处理
半导体
电子工程
质谱仪
表面科学
空间模拟
获得设备 液环真空泵
单级旋片真空泵
单级旋片真空泵 双级旋片真空
罗茨真空泵
扩散泵
分子泵
离子泵
钛升华泵
低温泵
测量方法 指针式真空压力表(布尔顿真空计) 电阻真空计
布尔顿真空计
薄膜真空计
电阻真空计
薄膜真空计
压缩式真空计
电离真空计
电离真空计

       真空泵、真空泵组、真空系统及各种真空设备在出厂前都需要测量其所能达到的极限真空,工作压力等真空度,根据相关标准进行核对,是否满足出厂标准和工作要求。
       此外当真空设备运行一段时间后,由于各种因素,真空设备将会发生一定的失效及故障,往往真空度及抽气效率等达不到所需的要求,需要对相关设备进行维护保养,在此测量真空度。
       根据不同的应用要求及不同的真空泵,有相应的真空测量仪器(真空计)。
       当真空度达不到出厂标准或工作要求时,往往真空设备存在了一定的泄露,所以有必要对相关设备及零部件进行检漏。此外在很多重要的真空应用领域,不仅仅需要测量真空度,还需要对真空泵、真空系统、真空腔体及各零部件进行必要的检漏,主要的检漏方法如下:
 
检漏方法 测试介质 Min可检漏率 压力范围 量化数值
Pa.L/S R134a g/a
泡沫(皂泡法) 空气 10-2 7.10-1 正压
超声听筒 空气 100 70 正压
卤素检漏仪 卤素气体 10-3 10-1 正压或真空  
氦气检漏仪 氦气 10-10 7.10-7 真空
10-5 7.10-2 正压
气泡法 空气 10-1 7 正压
水压测试 100 70 正压
静态压降法 空气 10-2 7.10-1 正压
静态升压法 空气 10-2 7.10-1 真空
我们可以根据不同应用场合及不同设备零部件提供合适的检漏服务。

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