真空区域 | 粗真空 | 低真空 | 中真空 | 高真空 | 超高真空 |
压力范围 | 105-103 | 103-101 | 101-10-2 | 10-2-10-6 | 10-6-10-10 |
主要特性 | 压力差 |
氧气和水含量 显著减少 |
物质沸点降低 氧含量进一步减少 |
气体分子平均自由程增大 | 形成单分子层时间增大 |
主要应用 |
真空输送 真空夹具 |
真空包装 真空干燥 |
真空冷冻干燥 真空蒸馏 真空热处理 |
半导体 电子工程 质谱仪 |
表面科学 空间模拟 |
获得设备 |
液环真空泵 单级旋片真空泵 |
单级旋片真空泵 |
双级旋片真空 罗茨真空泵 |
扩散泵 分子泵 |
离子泵 钛升华泵 低温泵 |
测量方法 | 指针式真空压力表(布尔顿真空计) |
电阻真空计 布尔顿真空计 薄膜真空计 |
电阻真空计 薄膜真空计 |
压缩式真空计 电离真空计 |
电离真空计 |
检漏方法 | 测试介质 | Min可检漏率 | 压力范围 | 量化数值 | |
Pa.L/S | R134a g/a | ||||
泡沫(皂泡法) | 空气 | 10-2 | 7.10-1 | 正压 | 无 |
超声听筒 | 空气 | 100 | 70 | 正压 | 无 |
卤素检漏仪 | 卤素气体 | 10-3 | 10-1 | 正压或真空 | |
氦气检漏仪 | 氦气 | 10-10 | 7.10-7 | 真空 | 有 |
10-5 | 7.10-2 | 正压 | 有 | ||
气泡法 | 空气 | 10-1 | 7 | 正压 | 无 |
水压测试 | 水 | 100 | 70 | 正压 | 无 |
静态压降法 | 空气 | 10-2 | 7.10-1 | 正压 | 有 |
静态升压法 | 空气 | 10-2 | 7.10-1 | 真空 | 有 |